質量流量控制器可以測量和控制各種氣體的質量流量和標況流量，產品的主要優(yōu)點為無需溫壓補償，測量的準確度高，響應速度快。是基于流體流動的節(jié)流原理，利用流體流經節(jié)流裝置時產生的壓力差而實現流量測量的。

　　快速的控制響應不僅能確保設備迅速到達設定值，同時還能維持穩(wěn)定的流量，以避免受到壓力波動的影響。毫無疑問，一臺設備的響應速度對測量精度及穩(wěn)定的流量控制有著至關重要的作用。

　　物理時間常數：物理時間常數用希臘字母Tau來表示，是現今為數不多的用來描述響應時間的標準之一，即：控制器到達設定值某個百分比所需要的時間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對數底數的無理數，其值為2.72，所以1-1/e即為設定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標準，可能說明不了什么問題，因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。

　　任意設定值百分比變化區(qū)域：不少質量流量控制器的技術參數采用設定值某一百分比區(qū)間內的變化來定義設備響應速度，比如：從設定值的10%到達90%所需要的時間。由于10%控制響應曲線變化大，由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。

　　穩(wěn)定時間：由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調，所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉例， 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩(wěn)定。一般質量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。如果用戶要將流量控制在期望的設定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也須落在設備精度范圍內。